RTP600Z Rapid Thermal Processing

RTP600Z Rapid Thermal Processing

● Temperature Range:150 - 1300 °C

● Heating Rate:Adjustable from 2 to 200 °C/sec

● Temperature Accuracy:±0.3 °C

● Maximum Sample Size:6-inch

● Maximum Cooling Rate:80 °C/sec

● Computer Controller:

○ Lenovo Laptop with Windows 7 and RTP-600 Control Software.

○ Programmable temperature curves: Storage for 500+ recipes, each with 50+ segments.

○ Temperature setting range: 100-1300 °C.

○ Time setting range: 1 - 30,000 seconds.

○ Data exportable as text files for easy data processing.

● Steady-State Temperature Stability:±1 °C

● Wafer Carrier:6-inch Quartz Boat

● Light Source:Halogen Lamps

● Process Atmosphere:1 channel MFC (Mass Flow Controller) for Nitrogen (N₂), 0-15 SLPM

● Cooling Method:CDA (Clean Dry Air) shower, Water cooling

● Power Supply:380 V, 63 A, three-phase four-wire (three phase lines, neutral wire)

● Water Supply:Tap water or circulating water, pressure 1-3 kg/cm², flow rate 6-8 L/min