RTP600Z Быстрая термическая обработка

RTP600Z Быстрая термическая обработка

● Диапазон температуры:150 - 1300 °C

● Скорость нагрева:Регулируемая от 2 до 200 °C/сек

● Точность температуры:±0.3 °C

● Максимальный размер образца:6-дюймовый

● Максимальная скорость охлаждения:80 °C/сек

● Компьютерный контроллер:

○ Ноутбук Lenovo с Windows 7 и программным обеспечением управления RTP-600.

○ Программируемые температурные кривые: Хранение более 500 рецептов, каждый с более 50 сегментами.

○ Диапазон установки температуры: 100-1300 °C.

○ Диапазон установки времени: 1 - 30 000 секунд.

○ Данные можно экспортировать в виде текстовых файлов для удобной обработки данных.

● Стабильность температуры в стационарном режиме:±1 °C

● Носитель пластины:6-дюймовая кварцевая лодка

● Источник света:Галогенные лампы

● Процессная атмосфера:1 канал MFC (массовый контроллер потока) для азота (N₂), 0-15 SLPM

● Метод охлаждения:Душ из чистого сухого воздуха (CDA), водяное охлаждение

● Питание:380 В, 63 А, трехфазный четырехпроводный (три фазных проводника, нейтральный провод)

● Водоснабжение:Канальная вода или циркулирующая вода, давление 1-3 кг/см², расход 6-8 л/мин