RTP Rapid Thermal Processing movable chamber tube furnace for Graphene and vapor deposition epitaxial growth of carbon nanotube

Furnace Structure

Double layer steel casing with air cooling keeps furnace surface temperature lower 

than 60°C.

One set of sliding rails is installed which allows furnace move from one side to 

another automatically at variable speeds using the control knob.

Vacuum flanges and digital vacuum gauge are installed for immediate use.

Power

9KW

Voltage

AC 208-240V Single Phase, 50/60 Hz

Max. Temperature

1000°C (<1 hour)

800°C (<2 hours)

600°C (continuous)

Note: RTP furnaces should not be heated for long duration due to thin refractories.

Temperature Accuracy

+/ - 2°C

Max. Heating Rate

50 ºC/s

Max. Cooling Rate

Cooling Rate from 900~200C:

8.3°C/sec (900 - 600°C);

4.4°C/sec (600°C - 500°C);

2.8°C/sec (500°C - 400°C);

1.6°C/sec (400°C - 300°C);

0.9°C/sec (300°C - 200°C);

Process Tube Size

High purity fused quartz tube
Ø4" OD x 1400mm L

Sliding Rails / Table

Dual sliding rails made of Cr plated steel

Sliding length: 1200 mm

Driven by DC motor

Sliding Control

Automatic sliding is controlled by temperature controller. When the heating program

 is finished, the furnace will slide from right to left at the set speed. Air fans will blow 

heated area to achieve fast cooling.

Sliding Range: 340mm

Sliding Speed: 0-70 mm/s; adjustable

Heating Elements

8 pcs Paralleled Infrared Heating ( 1200w each)

Thermocouple

K type, 1/4" dia x 24" length

Temperature Controller

PID automatic control with 30 programmable segments for precise control of heating 

rate, cooling rate and dwell time.

Built in overheating & broken thermocouple broken protection.

Over temperature protection and alarm allows for operation without attendant(s).

+/- 1 ºC temperature accuracy.

Vacuum Flanges

Stainless steel vacuum flanges are installed on both ends of the tube. 

Right flange:

Hinge-type flange for easy sample loading

Digital vacuum gauge is included

1/4"diameter feedthrough for inserting K type thermal couple

Needle valve with barb gas fitting is built in

Left flange:

KF25 right angle valve is installed for connecting to a vacuum pump

Needle valve for vacuum release is included

Vacuum Level

Limited by vacuum pump

10^-2 torr can be achieved by mechanical pump

10^-4 torr can be reached by molecular pump

Vacuum pump is not included, please order separately at related products section

Flow Meter

One flow-meter is built in with range: 16-160 ml/min

Dimensions

460 x 330 x 520 mm ( furnace only)

1800 x 450 x 680 mm ( furnace + sliding)

Net Weight

~ 80 Kg

Shipping Package Size

74" x 39" x 45"

Shipping Weight

300 lbs

Warranty

One year limited manufacturer's warranty