Нержавеющие стальные трубы BA с низкой шероховатостью поверхности для производства полупроводников

Разработано для сверхчистых производственных окружений полупроводников

Нержавеющие стальные трубы BA компании Shanghai Quanbao обеспечивают исключительную чистоту и целостность поверхности для критических процессов изготовления полупроводников. Эти трубы имеют тщательно контролируемое блестящее отжигнутое покрытие с шероховатостью поверхности, поддерживаемой ниже Ra 0,25 мкм, что значительно снижает риск образования частиц в чувствительных чисто-комнатных приложениях. Изготовленные в соответствии со строгими протоколами качества, наши трубные решения предотвращают загрязнение, которое может повлиять на выход годных кристаллических пластин в системах напыления, травления и подачи газа.

Основные технические характеристики:

• Состав материала: Варианты нержавеющей стали 304/304L или 316/316L
• Обработка поверхности: Блестящее отжигание в атмосфере водорода
• Критические размеры: Внешний диаметр от 1/8" до 4" | Толщина стенки от 0,028" до 0,249"
• Шероховатость поверхности: Ra ≤ 0,25 мкм (измеряемая в соответствии со стандартами SEMI)
• Погрешность прямолинейности: ≤1,5 мм на метр длины

Преимущества в производстве полупроводников:

Точное производство и контроль: Наш производственный процесс включает несколько этапов валидации от закупки материалов до окончательной упаковки. Каждая партия проходит:

• Электромагнитный тест на целостность стенки
• Проверка размеров с помощью лазерного микроскопа
• Картирование шероховатости поверхности профилометром
• Упаковка чистокласса с двойной упаковкой

Применение в технологическом процессе производства полупроводников:

• Системы распределения газа для установок CVD и плазменных инструментов
• Линии подачи химических веществ сверхвысокой чистоты
• Компоненты вакуумных камер
• Пути потока жидкости в аналитических приборах

Почему инженеры по производству полупроводников выбирают наши трубы BA:

1. Снижение количества частиц в газовых потоках на ≥40% по сравнению со стандартными трубами AP
2. Совместимость с высокотемпературными процессами до 800°C
3. Варианты пассивации для повышения коррозионной стойкости
4. Удостоверения о материале с отчетами о лабораторных испытаниях

Оптимизируйте надежность своего процесса уже сегодня

Минимизируйте загрязнение, влияющее на выход годных, с помощью труб, разработанных в соответствии со стандартами чистоты для полупроводников. Shanghai Quanbao предоставляет техническую поддержку по выбору материалов и услуги по индивидуальному изготовлению для удовлетворения конкретных требований оборудования. Свяжитесь с нашей инженерной группой для получения чертежей размеров, листов валидации и запросов образцов для проверки производительности в вашем применении.

Часто задаваемые вопросы:

В: Какие процедуры очистки рекомендуются перед установкой?
О: Мы рекомендуем промывание высокочистым растворителем с последующей продувкой азотом. Для применений, чувствительных к влаге, можно провести обжиг при 150°C в течение 2 часов.

В: Подходят ли эти трубы для подачи газов высокой чистоты?
О: Да, покрытие BA соответствует спецификациям SEMI F20 для характеристик поверхностного выброса газов в системах подачи газов сверхвысокой чистоты.

В: Что входит в комплект документов к отправке?
О: Все заказы включают удостоверения о материале с отчетами о составе, данными о тестах на шероховатость и записями о размерном контроле.

В: Можете ли вы поставлять трубы с предустановленными фитингами?
О> Услуги по подготовке концов труб и сборке фитингов доступны по запросу как дополнительный вариант.

В: Какова максимальная температура непрерывной работы?
О> Стандартный сорт сохраняет механическую целостность до 800°C в инертных атмосферах. Обратитесь к нам для получения спецификаций для окислительных сред.