Tubes BA en acier inoxydable avec une faible rugosité de surface pour la fabrication de semi-conducteurs

Conçu pour les environnements de fabrication de semi-conducteurs ultra-propres

Les tubes BA en acier inoxydable de Shanghai Quanbao offrent une pureté exceptionnelle et une intégrité de surface pour les processus critiques de fabrication de semi-conducteurs. Ces tubes présentent un fini de recuit brillant minutieusement contrôlé avec une rugosité de surface maintenue en dessous de Ra 0,25μm, réduisant considérablement les risques de génération de particules dans les applications sensibles de salle blanche. Fabriqués selon des protocoles de qualité stricts, nos solutions de tubes préviennent la contamination qui pourrait compromettre le rendement des plaquettes dans les systèmes de dépôt, de gravure et de distribution de gaz.

Spécifications techniques de base :

• Composition matérielle : Variantes d'acier inoxydable 304/304L ou 316/316L
• Traitement de surface : Recuit brillant sous atmosphère d'hydrogène
• Dimensions critiques : Diamètre extérieur de 1/8" à 4" | Épaisseur de paroi de 0,028" à 0,249"
• Rugosité de surface : Ra ≤ 0,25μm (mesurable selon les normes SEMI)
• Tolérance de rectitude : ≤1,5mm par mètre de longueur

Avantages de performance dans les opérations de semi-conducteurs :

Contrôles de fabrication précis : Notre processus de production inclut plusieurs étapes de validation depuis l'approvisionnement en matériaux jusqu'à l'emballage final. Chaque lot subit :

• Essai de courant de Foucault pour l'intégrité de la paroi
• Vérification dimensionnelle au micromètre laser
• Cartographie de la rugosité au profilomètre de surface
• Emballage de qualité salle blanche avec double emballage

Applications dans le flux de processus de semi-conducteurs :

• Systèmes de distribution de gaz pour les outils CVD et plasma
• Lignes de distribution de produits chimiques d'ultra-haute pureté
• Composants de chambre à vide
• Chemins de fluide d'instruments analytiques

Pourquoi les ingénieurs en semi-conducteurs spécifient nos tubes BA :

1. Réduction de ≥40% du nombre de particules dans les courants de gaz par rapport aux tubes AP standard
2. Compatibilité avec les processus à haute température jusqu'à 800°C
3. Options de passivation disponibles pour une meilleure résistance à la corrosion
4. Certificats de matériaux suivis avec des rapports d'essai d'usine

Optimisez la fiabilité de votre processus dès aujourd'hui

Minimisez la contamination qui affecte le rendement avec des tubes conçus selon les normes de pureté de qualité semi-conducteur. Shanghai Quanbao fournit un support technique pour la sélection de matériaux et des services de fabrication personnalisée pour répondre aux exigences spécifiques des outils. Contactez notre équipe d'ingénieurs pour des dessins dimensionnels, des feuilles de données de validation et des demandes d'échantillons pour vérifier les performances dans votre application.

Questions fréquemment posées :

Q : Quelles procédures de nettoyage sont recommandées avant l'installation ?
R : Nous recommandons un rinçage avec un solvant de haute pureté suivi d'un purge à l'azote. Un chauffage à 150°C pendant 2 heures peut être effectué pour les applications sensibles à l'humidité.

Q : Ces tubes sont-ils adaptés pour la distribution de gaz de haute pureté ?
R : Oui, le fini BA répond aux spécifications SEMI F20 pour les caractéristiques de dégazage de surface dans les systèmes de gaz d'ultra-haute pureté.

Q : Quelles documents accompagnent les expéditions ?
R : Toutes les commandes incluent des certificats de matériaux avec des rapports de composition, des données d'essai de rugosité et des enregistrements d'inspection dimensionnelle.

Q : Pouvez-vous fournir des tubes avec des raccords pré-installés ?
R : Les services de préparation des extrémités de tube et d'assemblage de raccords sont disponibles en option à valeur ajoutée sur demande.

Q : Quelle est la température maximale de fonctionnement continue ?
R : Le grade standard maintient son intégrité mécanique jusqu'à 800°C en atmosphère inerte. Consultez-nous pour les spécifications en environnement oxydant.