Tubos de acero inoxidable BA con baja rugosidad superficial para la fabricación de semiconductores

Diseñado para entornos de fabricación de semiconductores ultra limpios

Los tubos de acero inoxidable BA de Shanghai Quanbao ofrecen una pureza excepcional y una integridad de superficie para los procesos críticos de fabricación de semiconductores. Estos tubos cuentan con un acabado de temple brillante controlado meticulosamente, con una rugosidad de superficie mantenida por debajo de Ra 0,25μm, lo que reduce significativamente el riesgo de generación de partículas en aplicaciones de salas limpias sensibles. Fabricados bajo rigurosos protocolos de calidad, nuestras soluciones de tuberías previenen la contaminación que podría comprometer el rendimiento de las wafers en los sistemas de deposición, grabado y suministro de gases.

Especificaciones técnicas principales:

• Composición del material: Variantes de acero inoxidable 304/304L o 316/316L
• Tratamiento de superficie: Temple brillante en atmósfera de hidrógeno
• Dimensiones críticas: Diámetro exterior de 1/8" a 4" | Espesor de la pared de 0,028" a 0,249"
• Rugosidad de superficie: Ra ≤ 0,25μm (medible según las normas SEMI)
• Tolerancia de rectitud: ≤1,5mm por metro de longitud

Ventajas de rendimiento en operaciones de semiconductores:

Controles de fabricación de precisión: Nuestro proceso de producción incluye múltiples etapas de validación desde la adquisición de materiales hasta el empaque final. Cada lote se somete a:

• Pruebas de corrientes parásitas para la integridad de la pared
• Verificación dimensional con micrómetro láser
• Mapeo de rugosidad con profilómetro de superficie
• Empaque de grado de sala limpia con doble envasado

Aplicaciones en el flujo del proceso de semiconductores:

• Sistemas de distribución de gas para herramientas CVD y de plasma
• Líneas de suministro de químicos de ultra alta pureza
• Componentes de cámaras de vacío
• Rutas de fluido de instrumentos analíticos

¿Por qué los ingenieros de semiconductores especifican nuestros tubos BA?

1. Reducción del recuento de partículas en las corrientes de gas en ≥40% en comparación con los tubos AP estándar
2. Compatibilidad con procesos de alta temperatura de hasta 800°C
3. Opciones de pasivación disponibles para mejorar la resistencia a la corrosión
4. Certificados de material trazables con informes de ensayo de fábrica

Optimice la confiabilidad de su proceso hoy

Minimice la contaminación que afecta el rendimiento con tuberías diseñadas para estándares de pureza de grado semiconductor. Shanghai Quanbao brinda soporte técnico para la selección de materiales y servicios de fabricación personalizada para satisfacer los requisitos específicos de las herramientas. Póngase en contacto con nuestro equipo de ingeniería para obtener dibujos dimensionales, hojas de datos de validación y solicitudes de muestras para verificar el rendimiento en su aplicación.

Preguntas frecuentes:

P: ¿Qué procedimientos de limpieza se recomiendan antes de la instalación?
R: Recomendamos enjuagar con disolvente de alta pureza seguido de purga con nitrógeno. Se puede realizar un horneado a 150°C durante 2 horas para aplicaciones sensibles a la humedad.

P: ¿Son estos tubos adecuados para el servicio de gases de alta pureza?
R: Sí, el acabado BA cumple con las especificaciones SEMI F20 para las características de desgaseificación de superficie en sistemas de gases de ultra alta pureza.

P: ¿Qué documentación acompaña a los envíos?
R: Todos los pedidos incluyen certificados de material con informes de composición, datos de prueba de rugosidad e informes de inspección dimensional.

P: ¿Pueden suministrar tubos con accesorios preinstalados?
R: Los servicios de preparación de extremos de tubo y montaje de accesorios están disponibles como una opción de valor agregado según solicitud.

P: ¿Cuál es la temperatura máxima de funcionamiento continua?
R: El grado estándar mantiene la integridad mecánica hasta 800°C en atmósferas inertes. Consúltanos para las especificaciones de entornos oxidantes.