Three Channel Gas mixing system for delivering corrosive gases

Floating meter

Three anti-corrosive Floating Flow-meter made of PTFE material with flowing rates of 100 - 1000 mL/mi

 (0.1 - 1.0 L/min)

One Mechanical Pressure Gauge (mixing tank): 0 - 1.0 MPa, (0.02 MPa/grit)

Valve

Three needle valves made of PTFE material which controls gas out-let on front panel

Gas Tank

500 mL gas tank made of PTFEEach channel gas will flow into the tank for mixing before flow-out

Pipe fitting

Pipe fitting made of PTFE and accept 1/4" pipe (nylon or stainless steel)

Three Gas Inlet fittings (from gas tanks) are Installed in right side of cart

Two channel gases flow into a gas mixer container and one gas channel independent 

Two gas outlet fittings (to tube furnace) are installed in left side of cart (one for mixing gas and 

one independent)12' length 1/4" PTFE pipe is included for immediate use

Dimension

Compact size: 340Lx300Dx 180H, mm ( 13.4"x12"x7"). 

Net Weight: 16 Lb

Shipping

Shipping dimension: TBD

Shipping weight: 50 lbs 

Warranty

Two years limited with life time support

Related Products

CVD & PECVD Furnace