Vacuum Thermal Evaporation Coater rapid thermal annealing system

Input & Output Power

Input: 208 - 240VAC, 20 A, 50/60 Hz, single phase  

Total Power required:  8KW ( including pump)

other 3 phase voltage is available upon request

Output:  5VAC max.  and 300A Max.

Vacuum Chamber

Stainless steel chamber:  280mm ID. x 375 mm Height, ( ~23 Liter) Sand blasting electrolytic polishing surface  

100 mm observation window  in front of chamber

Hinged type door for easy sample loading

Manual operated shutters is on top  each evaporation W boat , which allow evaporating 4 kinds of material one by one

4 KF40 ports built in chamber for connecting to necessary device

Vacuum Pump 

High speed turbo molecular vacuum pump is included and connected to vacuum chamber. ( pls click picture left above )

Vacuum speed:  600L/S

Vacuum level: 5.0x10-6 torr ( after 40 minutes pumping )

Limit vacuum:   5.0x10-7  torr  ( after baking at 100 -150°C)

Leaking rate:    5.0x10-7 Pa.

Vacuum port:  150 mm diameter

Evaporation Source

&

Sample Holder

 Four tungsten heating boats is included  supported by water cold electrodes

Tungsten heating boat has dimension 70mm L x 12 mm W x 3 mm H. Spare W boat is available at extra cost.

Each top of boat has a manual operated shutter 

Built in manual shutter allow evaporation source to be used attentively.

100 mm diameter rotating sample holder is on top of chamber with diameter 260mm, which can be heated up to 600°C max. via digital temperature controller with +/1 °C accuracy

The distance between evaporation source and sample holder is 150-300 mm adjustable

Thickness control (optional)

One High Resolution Film Thickness Monitor and Controller is optional (click picture below to see detail specs )

The accuracy of thickness control is 1.0A

Control Unit

Vacuum, thickness and power control are integrated into one control box

Control Unit is separated from vacuum chamber for easy moving

You may place the control unit on the top of vacuum station 

Overall Dimensions

L600mm× W860mm× H1500mm

Facility Requirement  for Installation

Space:  250 SF with high eught > 6 feet

Power:  208 - 240V AC , single phase with Max 10KW ( 50A breaker)

Water:   > 15L/minute flowing water required for electrode cooling.  You may consider to order  recirculating water chiller to save water by click picture below at extra cost.

Warranty & Certificate

Two years limited warranty with lifetime support

CE certified