Паровакумный напылительный печь OTF-1200X-RTP-II CSS Furnace для быстрого термического обработки

Краткое описание

Печь OTF - 1200X - RTP - II с закрытой эвакуацией (CSS) представляет собой трубчатую печь для быстрой эвакуации, специально разработанную для изготовления пленок методом PVD или CSS. Диаметр трубки печи составляет 11 дюймов, в трубке печи на загрузочном диске можно разместить 3-дюймовый круглый или 2 дюйма x 2 дюйма квадратный субстрат; нагревательные элементы, состоящие из двух групп инфракрасных ламп, расположены соответственно в верхней и нижней частях полости, скорость нагрева достигает 20 °C/с; оснащена системой управления температурой для управления программой PID30, точность управления температурой составляет ± 1 °C, а панель прибора имеет интерфейс RS485. Если прибор оснащен программным обеспечением для управления температурой, то можно вывести программируемую кривую температуры.

Особенности

1. Чтобы уменьшить тепловое излучение и достичь эффекта быстрого охлаждения, нагревательный элемент встроен в систему водяного охлаждения.

2. Вблизи верхнего нагревательного элемента установлен алюминиевый нитридный субстрат (φ 76 мм x 0,5 мм), что обеспечивает более равномерную температуру на образце.

3, графитовая тигель 3 "можно поместить на дно нагревательного элемента, используется для испарения материала.

4, вакуумный фланец герметизируется двумя силиконовыми O-образными кольцами. С помощью механического насоса степень вакуума может достигать 10-2 торр, с помощью молекулярного насоса - 10-5 торр.

Два, 5 Вакуумные фланцы могут перемещаться вверх и вниз вручную.

6, на вершине фланца установлен цифровой вакуумметр, который может точно измерять степень вакуума внутри полости.

Технические параметры

1, источник питания: однофазный переменный ток 208-240В (требуется 20А автоматический выключатель)

2, вакуумная камера: кварцевая трубка высокой чистоты, внешний диаметр 280 мм, внутренний диаметр 275 мм, высота 229 мм

3, нагревательные элементы: две группы ИК инфракрасных труб, номинальная мощность 800 Вт, общая мощность 1600 Вт

4, термопара: термопара типа S 2, установлены соответственно на верхнем и нижнем фланцах

5, рабочая температура: максимальная температура при работе двух нагревательных зон по отдельности 650 °С, максимальная разница температур между двумя нагревательными зонами меньше или равна 350 °С

6, скорость нагрева: >8 °C /с

7, скорость охлаждения: >10 C /с (600 °C -100 °C)

8, вакуумный фланец: нержавеющая сталь 316, оснащен 1 интерфейсом KF-25, 2 штуками 1/4 "шланговым соединителем

9, вакуумметр: цифровой дисплей вакуума

Уважаемый клиент:

Цены на товары, которые вы видите на нашем веб - сайте, являются только ориентировочными рыночными ценами. Мы можем дать фактическую цену в соответствии с конкретными требованиями клиента.