Вертикальная печь химического осаждения из паровой фазы (SiC)
Описание продукта______________________________________________
Описание
Вертикальная трубчатая печь CVD (карбид кремния) использует метилтрихлорсилан (МТС) в качестве источника газа для нанесения антиокислительной покрытия на поверхность материала и изменения свойств матричного материала.
Технические особенности
1. Применяется наиболее передовая технология управления для контроля расхода и давления МТС, обеспечивая стабильный поток осаждения и небольшой диапазон колебаний давления.
2. Вакуумная печь химического осаждения из паровой фазы использует специально разработанную камеру осаждения, что обеспечивает хороший герметизирующий эффект и высокую степень защиты от загрязнения.
3. Множественные каналы осаждения обеспечивают равномерность поля потока, отсутствие «мертвых углов» осаждения и большую площадь осаждения.
4. Есть система обработки высококоррозионных отходящих газов, взрыво- и горючих газов, твердых пыли и низкотемпературных липких материалов в процессе осаждения.
5. Новая конструкция вакуумного блока с антикоррозионными свойствами обеспечивает длительное непрерывное время работы и короткое время обслуживания.
Опциональная конфигурация вертикальной трубчатой печи CVD
1. Дверь печи: винтовой подъемный тип/гидравлический подъемный тип/ручной подъем, ручное затяжное устройство/автоматическое затяжное кольцо
2. Корпус печи: полностью из углеродистой стали/внутренний слой из нержавеющей стали/полностью из нержавеющей стали
>3. Тепловой зона печи: мягкий углеродный войлок/мягкий графитовый войлок/твердый композитный войлок/CFC
4. Нагревательный элемент и муфель: изотатически прессованный графит/прессованный высокочистый, высокопрочный и высокоплотный графит/графит мелкой фракции
5. Система технологических газов: расходомер объёмный/массовый, ручное клапан/автоматическое клапан, зарубежный бренд/китайский бренд
6. Вакуумный насос и манометр: зарубежный бренд/китайский бренд
7. Человеко-машинный интерфейс (HMI): симуляционный экран/сенсорный экран/индустриальный персональный компьютер
8. PLC: OMRON/Siemens
9. Температурный регулятор: SHIMADEN/EUROTHERM
10. Термопара: тип C, тип S, тип K, тип N
11. Регистратор: Бесбумажный регистратор/бумажный регистратор, Иностранная марка/Китайская марка
12. Электрооборудование: CHINT/Schneider/Siemens
Технические характеристики вертикальной трубчатой печи CVD
Модель |
VCVD-0305-SIC |
VCVD-0608- SIC |
VCVD-0812- SIC |
VCVD-1015- SIC |
VCVD-1 |
VCVD-1520- SIC
Рабочая зона (D×H) (мм)
Φ300 ×500
Φ600 × 800
Φ800 × 1200
Φ1000 × 1500
Φ1100 ×2000
Φ1500 × 2000
Максимальная температура (℃)
1500
1500
1500
1500
1500
1500
Равномерность температуры (℃)
±5
±5
±7.5
±7.5
±10
±10
Лимитирующее вакуум (Па)
50
50
50
50
50
50
Скорость возрастания давления (Па/ч)
0.67
0.67
0.67
0.67
0.67
0.67
Вышеуказанные параметры могут быть адаптированы в соответствии с требованиями технологического процесса. Они не являются критериями приемки. Детальные спецификации будут указаны в техническом предложении и соглашениях.
Информация о компании______________________________________________
Основанная в 2006 году, ACME (Advanced Corporation for Materials & Equipments) является высокотехнологичной компанией, специализирующейся на производстве промышленного нагревательного оборудования для новых материалов и энергетики. С площадью 100 000 м² наш ежегодный выпуск превышает 200 установок.
Центр клиентского опыта_______________________________________
ACME имеет Центр клиентского опыта, где клиенты могут выбрать подходящее оборудование и убедиться, что его характеристики соответствуют требованиям производственного процесса. Это помогает ACME накопить богатый опыт проведения экспериментов и значительно повысить надежность и практичность оборудования.
Посетители ACME__________________________________________
ACME занимает первое место по доле рынка на рынке специального нагревательного оборудования и продает свою продукцию в США, Европе, России, Японии, Канаде, Новой Зеландии, на Ближнем Востоке, в Южной Америке, Африке, Южной Азии и т.д. регионах и странах.
ACME на выставках__________________________________________
Почему ACME?______________________________________________________
1.Мы производитель, а не торговая компания! Ждем вас в Чанша, Китай!
2.Наша аппаратура может быть изготовлена по индивидуальным заказам! Сообщите нам ваши требования, и мы удовлетворим их!
3.АCME получила сертификаты качества, экологической безопасности и охраны труда по стандартам ISO 9001, ISO 14001 и ISO 18000.
/
Aisha Liu
sales3@sinoacme.cn
Отправить запрос этому поставщику
Вам также может понравиться
-
Вертикальная вакуумная графитизирующая печьUS$ 400000 - 50000000MOQ: 1 Set
-
Индукционный нагревной печьUS$ 200000 - 20000000MOQ: 1 Set
-
Сжиговая печь для SiC и Si3N4US$ 100000 - 10000000MOQ: 1 Set
-
Печь газопорошковой спекания под давлениемUS$ 100000 - 10000000MOQ: 1 Set
-
Печь вакуумной импрегнации под давлениемUS$ 300000 - 30000000MOQ: 1 Set
-
Пепельный печь непрерывной очистки графитаUS$ 500000 - 50000000MOQ: 1 Set
-
Пушерный графитовый печь для очисткиUS$ 600000 - 60000000MOQ: 1 Set
-
Печи непрерывной предварительной окисленияUS$ 200000 - 20000000MOQ: 1 Set
-
Пепельный печь непрерывного действияUS$ 200000 - 20000000MOQ: 1 Set
-
Оборудование для подготовки тормозных дисков из углеродно-керамического материалаUS$ 200000 - 20000000MOQ: 1 Set









